华瑛

SiC晶圆良率提升之路从缺陷检测、污染控制到杂质分析的全链突破

目前碳化硅产业与传统的硅产业相比，仍存在差距，特别是在材料制备、晶圆加工和器件制造环节，仍面临着成本、良率和长期可靠性的多重挑战，这些因素共同制约了碳化硅技术大规模商业化应用的进程。